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Product Details
ALCATEL ATH 500 M全磁浮涡轮分子泵

轴承

五轴控制全磁浮轴承

转速

50000 min-1

对氮气的压缩比

> 2 · 107

最大进气压力N2

2.6 hPa

对氮气的抽速

350 l/s--550 l/s

启动时间

< 2 min

极限真空度

< 1 · 10-8 hPa

重量

17 kg-18kg

 

 

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脚注信息

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